标准号：GB/T 22571-2017 有效

中文名称：表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准

英文名称：Surface chemical analysis-X-ray photoelectron spectrometers-Calibration of energy scales

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被代替标准

GB/T 22571-2008(全部代替)

代替标准

被采用标准

ISO 15472-2010(等同)

采用标准

引用标准

ISO 18115-1(不注日期引用)

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修订记录

标准摘要

本标准规定了一种用于一般分析目的时校准X射线光电子能谱仪结合能标尺的方法，该谱仪使用非单色化Al或MgX射线或单色化AlX射线。它仅适于带有溅射清洁用的离子枪的仪器。本标准还进一步规定了一种方法，用以建立校准程序、在中间某一能量值测试结合能标尺线性度、在高低结合能区各取一点确认标尺校准的不确定度、对标尺的小漂移作修正以及规定在95％置信度时该结合能标尺校准的扩展不确定度。这个不确定度包括来自实验室际研究中观察到的现象的贡献，但不涵盖所有可能发生的缺陷。本标准不适用有下述情况的仪器：结合能标尺的误差随能量明显非线性变化、工作在固定减速比模式且减速比小于10、谱仪的分辨率差于1.5eV或者要求容差极限为士0.03eV或更小。本标准不提供全标尺校准检验，该检验要对每一个在能量标尺上能找到的点加以验证，需按仪器制造商的推荐程序进行。

归口单位

全国微束分析标准化技术委员会。

主管部门

国家标准化管理委员会

执行单位

全国微束分析标准化技术委员会

起草单位

中国科学院化学研究所、复旦大学。

起草者

赵志娟、丁训民、吴扬、虞玲、刘芬、章小余。

简评

备注