标准号：ISO 5302-2003 已废止

中文名称：真空技术.涡轮分子泵.性能特征的测量

英文名称：Vacuum technology -- Turbomolecular pumps -- Measurement of performance characteristics

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被代替标准

代替标准

被采用标准

采用标准

JIS B 8328-2009(修改) GB/T 7774-2007(等同)

引用标准

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修订记录

标准摘要

归口单位

主管部门

执行单位

起草单位

起草者

简评

备注

作废依据：深圳院2019-01数据更新