标准号：ISO 14606-2000 已废止

中文名称：表面化学分析.溅射深度剖面测定.作为参考材料的层系统最优化

英文名称：Surface chemical analysis -- Sputter depth profiling -- Optimization using layered systems as reference materials

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被代替标准

代替标准

被采用标准

采用标准

GB/T 20175-2006(等同) JIS K 0146-2002(等同)

引用标准

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修订记录

标准摘要

归口单位

主管部门

执行单位

起草单位

起草者

简评

备注