标准号：GB/T 28632-2012 有效

中文名称：表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定

英文名称：Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution

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被代替标准

代替标准

被采用标准

ISO 18516-2006(等同)

采用标准

引用标准

GB/T 22461-2008(注日期引用)

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修订记录

标准摘要

本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。

归口单位

全国微束分析标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

执行单位

全国微束分析标准化技术委员会

起草单位

上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心

起草者

徐建、陆敏、吴立敏、朱丽娜、辛立辉、何丹农、张冰

简评

备注