标准号：GB/T 32386-2015 有效

中文名称：电子工业用气体 六氟化钨

英文名称：Gases for electronic industry - Tungsten hexaflouride

---

---

---

被代替标准

代替标准

被采用标准

采用标准

引用标准

---

修订记录

标准摘要

本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。 分子式:WF6。 分子量:297.830419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司

起草者

郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨仁、周鹏云

简评

备注