标准号：SJ/T 10458-1993 有效

中文名称：俄歇电子能谱术和Ｘ射线光电子能谱术的样品处理标准导则

英文名称：Standard guide for specimen handling in auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy

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被代替标准

代替标准

被采用标准

采用标准

引用标准

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修订记录

标准摘要

本标准导则适用于俄歇电子能谱术(AES)和X射线光电子能谱术(XPS)，也适用于其他表面灵敏分析技术。 本标准导则可能涉及有害的操作、设备及物质，但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前，应该制定适当的安全与保健措施，并确定本导则的应用范围。

归口单位

主管部门

执行单位

起草单位

本标准由天津电子材料研究所负责起草。

起草者

标准主要起草人；任殿胜、严如岳、罗兴华、李岩松、华庆恒。

简评

备注