标准号：GB/T 1552-1995 已废止

中文名称：硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法

英文名称：Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon and germanium with a collinear four-probe array

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被代替标准

代替标准

GB/T 1551-2009(全部代替)

被采用标准

采用标准

引用标准

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修订记录

标准摘要

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

本标准由上海有色金属研究所负责起草。

起草者

标准主要起草人施海青、顾小龙、林敏敏。

简评

备注