标准号：GB/T 1551-2009 已废止

中文名称：硅单晶电阻率测定方法

英文名称：Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon

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被代替标准

GB/T 1552-1995(全部代替) GB/T 1551-1995(全部代替)

代替标准

GB/T 1551-2021(全部代替)

被采用标准

采用标准

引用标准

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修订记录

标准摘要

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

本标准起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。

起草者

标准主要起草人:李静、何秀坤、张继荣、段曙光。

简评

备注