标准号：GB/T 31470-2015 有效

中文名称：俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

英文名称：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers

---

---

---

被代替标准

代替标准

被采用标准

采用标准

引用标准

SJ/T 10458-1993(注日期引用) GB/T 22461-2008(注日期引用)

---

修订记录

标准摘要

本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。 本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的X射线光电子能谱：人射X光束激发的样品区域大于分析器可检测到的样品区域；光电子从样品到分析器人口的过程中经过自由空间；装配有辅助电子枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。

起草者

标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。

简评

备注